九儿 巨乳 东方晶源上新良率优化系统PME，打造半导体智能制造新数据引擎
东方晶源上新良率优化系统PME，打造半导体智能制造新数据引擎
东方晶源智能良率优化系统PME(Process Margin Explorer)已在客户现场完成部署，认真步入家具考据与评估阶段。看成继ODAS(CD-SEM智能离线数据系统)、YieldBook(空洞良率照顾系统)之后践行HPO(Holistic Process Optimization)理念落地的又一力作，PME深度融入东方晶源"树立-数据-算法"三位一体、软硬协同的良率提高科罚决策，成为撬动半导体先进制程良率瓶颈的策略用具之一。
PME家具聚焦以下三大中枢功能：
基于筹画领土的检测区域遴荐与优化；
整合筹画领土信息的检测截止智能采样与劣势自动分类；
PWQ Wafer检测数据快速融会与讲述一键生成。
与此同期，PME家具还配套浩繁的底层Pattern Match和Pattern Grouping引擎，大概高效地进行领土分析与处理任务。
基于筹画领土的检测区域遴荐与优化
PME是不绝芯片筹画数据与芯片制造过程劣势数据的要道用具。它使得Fab用户不错依据筹画领土信息成立晶圆检测程式，毁坏传统检测程式对训戒参数的依赖，PME将筹画领土升沉为"数字卫星导航舆图"，用户不错依据筹画领土指定、遴荐、优化我方的检测程式，使检测区域成立截止完毕质的飞跃，显贵提高检测截止和检测精度。
整合筹画领土信息的检测截止智能采样与劣势自动分类
芯片制造劣势检测中，由于要道劣势在举座劣势中的占比低于3%，在海量误检数据中精确定位要道劣势的难度极高，av排行这也径直导致了复检老本弥远居高不下。在以往的复检取样状貌，主要依赖工程师个东说念主训戒与机台保举算法，这种方式较难复制与合资。而在导入筹画领土信息后，基于筹画领土的过滤与取样算法，容易完毕固定且要领的取样规则，得到合资的取样截止，何况可字据实质需求生动增设新的取样规则，真实完毕智能化取样操作。此外，筹画领土信息还大概深度期骗于复检劣势的分类使命，极地面拓展了复检劣势分类的维度与信息容量，为工艺调优提供高维决策支撑。
PWQ Wafer检测数据快速融会与讲述一键生成
现在，在芯片坐褥历程中，PWQ Wafer被等闲期骗于工艺窗口阐发和系统性劣势分析等要道状貌。有关词，PWQ Wafer的检测截止分析却主要依赖工程师东说念主工操作，不仅速率慢、截止低，而且截止还有较大的个东说念主训戒依存性。东方晶源PME家具的PWQ分析模块转变遴选D2DB(Die-to-Database)时间，通过筹画领土与SEM图像的亚像素级匹配，完毕劣势精确定位和自动检出。现阶段PME家具的PWQ分析处奢睿力，相较于传统的PWQ分析方式，其分析速率提高卓越10倍以上。这一超卓性能使得PWQ分析截止大概尽可能提前并快速地进取游响应，有劲地加快了光罩、筹画领土以及OPC等要道状貌的迭代优化程度，匡助用户尽快完毕良率爬升。
后续，PME将与东方晶源的电子束检测树立、量测树立九儿 巨乳，计较光刻用具等进行深度集成，构建起一套完满的HPO一体化良率科罚决策，为国内晶圆厂客户提供更为全面、高效的时间支撑，有用叮嘱因先进工艺节点执续激动而带来的制造良率穷苦，为推动国内集成电路产业链完毕弯说念超车注入矫健能源，助力产业在专家竞争款式中占据更为成心的地位。